Back to University of Twente portal
Postitie-actuator op basis van oppervlakte-akoustische golven
Feenstra, P.J. and Breedveld, P.C. (2006) Postitie-actuator op basis van oppervlakte-akoustische golven. Mikroniek, 46 (6). pp. 14-18. ISSN 0026-3699
![[img]](http://doc.utwente.nl/style/images/fileicons/application_pdf.png)
| PDF 410Kb |
| Abstract: | Oppervlakte-akoustische golven (Engels: Surface Acoustic Waves, afgekort SAW) kunnen worden gebruikt om een mechanische beweging op te wekken. Dit artikel, voortkomend uit een IOP-project, beschrijft het werkingsprincipe van een SAW-motor. Verder worden van een experimentele versie van een dergelijke motor voor liniaire beweging de onderdelen, de aansturing en een aantal resultaten beschreven.
Potentiële toepassingen van de SAW-motor zijn onder meer positionering van kleine spiegels, lenzen, lasers en sensoren in optische opstellingen, positionering van samples in (elektronen)microscopen voor inspectie en materiaalonderzoek, actuatoren met extreme eisen qua (lage) elektromagnetische velden en actuatoren voor in de ruimte. |
| Item Type: | Article |
| Faculty: | Electrical Engineering, Mathematics and Computer Science (EEMCS) |
| Research Group: | |
| Link to this item: | http://purl.utwente.nl/publications/66607 |
| Export this item as: | BibTeX EndNote HTML Citation Reference Manager |
Show download statistics for this publication
Show download statistics for this publicationRepository Staff Only: item control page
Metis ID: 237615