Probe en werkwijze voor de vervaardiging van een dergelijke probe

Share/Save/Bookmark

Bos, Arnout Gerbrand van den and Abelmann, Leon and Lodder, Jacobus Christiaan (2003) Probe en werkwijze voor de vervaardiging van een dergelijke probe. Patent.

open access
[img]
Preview
PDF
446kB
Abstract:De uitvinding heeft betrekking op een probe voor een magnetische kracht-microscoop, omvattende een in een wafervlak geplaatste beweegbare cantilever en een in hoofdzaak loodrecht op de cantilever geplaatste tip, waarbij de cantilever beweegbaar is en een trillingsrichting heeft in het wafervlak, en de tip nagenoeg in of evenwijdig aan dit wafervlak ligt.
Item Type:Patent
Faculty:
Electrical Engineering, Mathematics and Computer Science (EEMCS)
Research Group:
Link to this item:http://purl.utwente.nl/publications/64559
Export this item as:BibTeX
EndNote
HTML Citation
Reference Manager

 

Repository Staff Only: item control page

Metis ID: 212052