Probe en werkwijze voor de vervaardiging van een dergelijke probe

Bos van den, Arnout Gerbrand and Abelmann, Leon and Lodder, Jacobus Christiaan (2003) Probe en werkwijze voor de vervaardiging van een dergelijke probe. Patent.

Preview

PDF
436Kb

Abstract:	De uitvinding heeft betrekking op een probe voor een magnetische kracht-microscoop, omvattende een in een wafervlak geplaatste beweegbare cantilever en een in hoofdzaak loodrecht op de cantilever geplaatste tip, waarbij de cantilever beweegbaar is en een trillingsrichting heeft in het wafervlak, en de tip nagenoeg in of evenwijdig aan dit wafervlak ligt.
Item Type:	Patent
Faculty:	Electrical Engineering, Mathematics and Computer Science (EEMCS)
Research Group:	Transducers Science and Technology (TST)
Link to this item:	http://purl.utwente.nl/publications/64559
Export this item as:	BibTeX EndNote HTML Citation Reference Manager

Repository Staff Only: item control page

Metis ID: 212052